使用实例

半导体制造中的ID读取与可追溯性

突破低对比度与表面变化限制,实现ID读取精度最大化

可追溯性是半导体制造的核心要素。Basler视觉方案可实现从晶圆边缘OCR、FOUP条码、掩膜版ID、基板编码到载具环标记的全流程精准标识读取,确保各生产环节的可靠追踪。

实现从晶圆到最终封装的全流程可靠标识读取

在半导体制造全流程中,需稳定读取各类标识码以维持完整可追溯性。这些标识包括激光蚀刻、点刻或印刷于不同光学特性表面的条形码、OCR字符、DataMatrix码及二维码。

使用 Basler 视觉方案进行晶圆 ID OCR 设置和字符识别
使用 Basler 视觉方案进行晶圆 ID OCR 设置和字符识别

晶圆与掩膜版ID读取技术

晶圆边缘OCR需识别硅晶圆外缘激光刻印的微小字母数字字符。此类唯一性标识通常遵循SEMI M12或T7等行业标准,是制造全程追溯的关键依据。

掩膜版(光刻掩模)承载芯片各层的电路图案,其玻璃或铬边框上的激光蚀刻ID可确保光刻工序中的正确使用与追溯。

核心挑战解析

  • 低对比度反射表面难题:硅晶圆或铬掩膜版上的激光蚀刻ID常因表面抛光处理而缺乏对比度,导致字符识别困难或漏读,需通过优化照明与图像增强技术解决。

  • 眩光与镜面反射:晶圆倒角边缘及掩膜版玻璃在常规照明下易产生强烈眩光,需采用同轴照明或偏振照明等专用光源技术,以抑制过曝并凸显标识细节。

  • 曲面或受限标记区域:刻印于曲面边缘的字符易产生畸变或失焦,常规镜头难以应对高速检测需求。ID常位于晶圆倒角边缘或光刻掩模狭小区域,需高分辨率成像与精密光学对准技术保障识别精度。

Basler半导体ID读取集成化视觉方案

Basler推出可配置的视觉方案,专为半导体ID读取设计,可无缝集成至检测、切割及搬运系统中。该方案整合四大核心组件:高性能相机、优化光学系统、自适应光源及智能软件工具,协同实现晶圆边缘OCR、载具环编码及基板ID的灵活可靠读取。此集成架构确保在多样材料、光照条件及工艺环境中均能输出稳定结果,全面满足先进封装领域对追溯系统的严苛要求。

How can you improve ID reading on difficult semiconductor surfaces?

See how lighting, optics, imaging, and software can be configured for low-contrast, reflective, curved, or degraded markings.Complete the form to continue reading.

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